9月9日至11日，第27届中国国际光电博览会（CIOE）在深圳国际会展中心隆重举办。作为全球极具影响力的光电全产业链盛会，本届展会聚焦光电创新技术与智能制造发展趋势，汇聚行业前沿成果与优质产业资源。
国家级高新技术企业深圳市海瑞思自动化科技有限公司，以“一站式精密检测，护航真空镀膜工艺制程”为参展主题，携全栈自研HM系列RGA残余气体分析仪、氦质谱检漏系列、气密检测系列核心装备重磅亮相7号馆7A03展位，全方位展示适配真空镀膜、光电制造、半导体工艺的高端精密检测解决方案。
聚焦制程痛点，打造一站式真空精密检测体系
在光电与半导体真空制造领域，腔体微量气体残留、细微泄漏、杂质污染等隐形问题，是影响产品良率与工艺稳定性的关键痛点。针对行业制程难点，海瑞思打造一站式真空精密检测技术体系，通过高灵敏探测、宽压适配、高速扫描与智能数据集成能力，将真空环境中不可见的气体组分与微漏问题，转化为可量化、可追溯、可管控的精准数据，为高端制造工艺提质增效提供核心支撑。
凭借全栈自研的四极杆质谱核心技术，海瑞思RGA系列设备具备高灵敏度、高稳定性、高适配性的突出优势，综合性能比肩国际一线品牌，可精准完成真空腔体污染排查、工艺气体诊断、微量泄漏定位，全面适配高端真空镀膜生产质控需求。
全系自研RGA亮相，覆盖全梯度真空检测场景
本次展会，海瑞思集中展出多款迭代升级的HM系列RGA质谱产品，覆盖超高真空至常压全梯度压力检测场景，完善高端真空制程检测布局：
HM-130高性能残余气体分析仪，拥有2E-15 Torr最小可检分压、2 ms/点高速扫描速率以及1–300 amu宽质量数检测范围，可精准完成高真空环境检漏、真空工艺诊断与烃类成分分析，适配高真空精密制程质控。
HM-150高压力残余气体分析仪，最高工作压强可达2 Pa，最低2E-9 Pa分压检测，搭配2ms/点极速响应与双灯丝设计，可高效完成高真空至PVD工艺场景的微量泄漏检测与腔体污染监测，适配高压严苛工况。
HM-230多压力残余气体分析仪，实现1E-8 Torr至1.2 atm超宽压力范围覆盖，采用RGA质谱、真空系统、智能进样模块一体化集成设计，高度适配ALD、CVD、PVD、刻蚀等半导体高端精密工艺，可满足多场景严苛生产检测需求。
HM-200在线质谱分析仪，依托高灵敏检测能力与宽域质量数分析优势，可实现生产过程中残余气体定性定量分析、工艺气体实时监测、腔体污染快速溯源，助力产线实现智能化、连续性制程管控。
与此同时，海瑞思同步展出HM-400氦质谱检漏系列及HC、HD、HL系列气密检测设备，可精准捕捉各类微小泄漏隐患，全面覆盖真空镀膜设备、光电器件、光模块封装、精密光学元件等产品的全流程检测需求，构建完整的真空与密封检测产品矩阵。
现场展会热度持续攀升，硬核技术获媒体与客户认可
展会现场技术交流氛围热烈，众多海内外光电制造、真空设备、半导体领域企业莅临展位参观洽谈，深度咨询产品性能、技术适配与定制化解决方案。
展会期间，化工仪器网对海瑞思进行专访，公司销售总监王总详细介绍了企业整体业务布局、全链条产品体系，并重点解读了自研RGA质谱设备在检测精度、测试效率、自动化集成方面的核心优势，以及设备在光电镀膜、高端真空制造领域的广阔应用前景。
现场技术工程师全程一对一答疑、实操演示设备运行流程，专业的技术实力与完善的服务体系获得来访客户高度认可。
深耕精密检测赛道，全链条交付赋能产业升级
深耕精密检测领域近二十年，成立于2008年的海瑞思，已成长为国内领先的密封与真空精密检测解决方案服务商。公司坚持核心技术自主可控，实现关键部件、算法软件、检测系统全栈自研，同时搭建标准化生产与品控体系，依托本土化技术团队，可为全球客户提供方案定制、设备交付、现场调试、技术培训、售后运维的全流程一站式服务，保障设备稳定落地与长期可靠运行。
立足光电产业智能化升级浪潮，未来，海瑞思将持续深耕精密检测赛道，持续迭代产品技术与制造工艺，不断拓宽质谱分析、氦检气密检测技术的应用边界，以硬核自研实力护航真空镀膜高端制程，助力光电、半导体等先进制造产业高质量发展。
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原标题：聚焦真空工艺制程 海瑞思自研RGA质谱产品亮相CIOE 2026光博会 来源：网络
